膜厚仪采用磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。覆层越厚，则磁阻越大，磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪，原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性，则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时，仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头，测量感应电动势的大小，仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。一些电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术，利用磁阻来调制测量信号。还采用设计的集成电路，引入微机，使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应测厚仪，分辨率达到0.1um，允许误差达1%，量程达10mm。

　　台式的荧光X射线膜厚仪，是通过一次X射线穿透金属元素样品时·产生低能量的光子，俗称为二次荧光，,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值·那么，如何正确操作使用膜厚仪？

　　膜厚仪测定准备

　　（1）确保电池正负极方向正确无误后设定。

　　（2）探头的选择和设定：在探头上有电磁式和涡电流式2种类型。对准测定对象，在本体上进行设定。

　　膜厚仪测定方法

　　（1）探头的选择和安装方法：确认电源处于OFF状态，与测定对象的质地材质接触，安装LEP-J或LHP-J。

　　（2）调整：确认测定对象已经被调整。未调整时要进行调整。

　　（3）测定：在探头的末端加一定的负荷，即使用[一点接触定压式]。抓住与

　　测定部接近的部分，迅速在与测定面成垂直的角度按下。下述的测定，每次都

　　要从探头的前端测定面开始离开10mm以上。使用管状的东西连续测定平面时，如果采用探头适配器，可以更加稳定地进行测定。